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史珺博士:多晶硅铸锭炉的装料问题解析
2021-12-05 01:22
本文摘要:多晶硅铸锭的装料是一个很关键的过程,这个过程经常被忽视。但对于多晶硅制备和铸锭来说,这个过程有任何疏失,都会造成铸锭告终,甚至不会引致相当严重的事故。 首先,要留意硅料载运和处理过程中的防污染。 硅料从前道工序来的时候,一定要留意纸盒和维护,无法有任何污染的机会。这些污染源还包括:外物掉进、肉体认识、干净的手套或工具认识、污秽的纸盒或容器、空气中的灰尘、等等。因此,硅料的载运和储存是一个十分严苛的过程,无法有任何马虎,其对于洁净度的拒绝,要比食品或药品要低得多。

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多晶硅铸锭的装料是一个很关键的过程,这个过程经常被忽视。但对于多晶硅制备和铸锭来说,这个过程有任何疏失,都会造成铸锭告终,甚至不会引致相当严重的事故。  首先,要留意硅料载运和处理过程中的防污染。

硅料从前道工序来的时候,一定要留意纸盒和维护,无法有任何污染的机会。这些污染源还包括:外物掉进、肉体认识、干净的手套或工具认识、污秽的纸盒或容器、空气中的灰尘、等等。因此,硅料的载运和储存是一个十分严苛的过程,无法有任何马虎,其对于洁净度的拒绝,要比食品或药品要低得多。  其次,在装料的过程中,一定要留意无法将坩埚损毁。

坩埚是石英陶瓷的,其强度很脆,很更容易在硅块的碰撞下碎片。要是知道碎片还是幸运地的,因为需要当场找到,最少坩埚出厂,损失几千元。

但绝大多数情况下,坩埚再次发生的是隐裂,这时,根本无法找到,这样的隐裂在生产过程中不会必要造成漏硅事故,而造成炉体损毁,有可能就是几万甚至几十万元的损失。因此,就拒绝我们装料的时候要十分小心,重拿轻放,无法为了多装料而用力向滑动或扔硅料。

  第三,对于一些铸锭坩埚,表面有氮化硅涂层作为脱模剂。虽然经过工件,这些涂层仍然十分薄弱。略为有撞击就不会开裂,一旦开裂就丧失了涂层的起到,造成硅料与坩埚战粘合而造成硅锭裂痕。

对于有涂层的坩埚必须细心地装料,一般来说必须在认识坩埚的四壁和底部摆放一些板状或片状硅材料,以免块料的尖角刮坏涂层。  第四,装料时,工人要穿著防汗服,戴着双层乳胶手套,戴着口罩和帽子,绝不能用手指必要认识硅料。

要不准有汗滴掉进硅料里,也无法咳嗽。这些都会对硅料产生十分相当严重的污染。

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为了防止呕吐,则应该在炎热的地方装料,或者向装料人员获取冷风机。装料时,意味著无法摘得口罩和帽子,手套如果被硅遮住,必需替换。

替换过的手套不得再度用于。  第五,许多工厂成立了装料室,获取空调,这样可以提高装料条件,使工人需要更为每每地装料。

在装料室将料取出坩埚后,再行通过送料机构送到炉内。装进料的坩埚在载运时要加以十倍的小心。任何一个严重的震动,就不会造成坩埚再次发生裂痕或隐裂。

因此,必需确保百分之百的稳定载运。装料的坩埚在载运时,底部一定要有柔性的垫子,吸取掉万一差点的震动对坩埚的冲击。  普罗的多晶硅上下漆设备  图1:上海普罗一炉四锭多晶硅铸锭炉专用的坩埚上下料车工作示意图  (可一次取放两只G5或G6坩埚,载重量3吨)  针对上海普罗的RDS4.0系列一炉四锭的铸锭炉,上海普罗研制了专门为铸锭炉展开坩埚上料和下料的设备,称作CLC系列。CLC系列坩埚上漆设备可以使用户在洁净室内装料,装料后,在炉前等候,一旦炉内硅锭清扫完后,可立刻用车辆将装进料的坩埚送到炉内。

该设备也可用作将铸锭后的坩埚、硅锭从炉内除去。  上下漆机构可以使用户事前将坩埚装进漆,节省炉次之间的间隔时间,提升单炉产量,且上料稳定,可避免坩埚因摇晃或撞击造成隐裂,而造成铸锭工艺过程中的漏硅现象。


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